垂直腔面发射半导体激光器阵列热特性分析与设计.pdf
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摘要
垂直腔面发射激光器（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser,VCSEL）具有单波长
工作稳定、低阈值电流、低发散角以及圆形对称光斑等优点，尤其是能够在芯片表面
发出激光，更易于集成高密度的二维阵列，被人们应用在激光雷达、激光打印、数据
传输等多个领域。然而，VCSEL中加入了分布式布拉格反射镜结构加重了器件内部
的热效应，特别是在VCSEL阵列中，器件单元产生的热量也会相互影响产生热串扰，
因而与单管的热效应相比，阵列的热效应更加严重。严重的热
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