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一种垂直腔面发射激光器阵列.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114552374 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210189671.1 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人常州纵慧芯光半导体科技有限公司地址

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