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垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112993752 B (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202110503049.9 审查员关玉巧 (22)申请日 2021.05.10

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