GB/T 24578-2009硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法.pdf
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链接：/tech/71968.html
来源：中国新能源网
硅片厚度和总厚度变化测试方法（GB/T 6618-2009）
1范围
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片（简称硅片）厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法
。
本标准适用于符合GB/T 12964,GB/T 12965,GB/T 14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允
许