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磁控溅射法制备掺锌tio2薄膜及其亲水性能影响研究.pdf

发布：2025-04-21约1.38万字共18页下载文档
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磁控溅射法制备掺锌TiO2薄膜及其亲水性能影响研究

摘要：本实验采用磁控溅射法制备掺锌TiO2薄膜及其对亲水性性能的研究，通过控制氧氩流量

比，镀膜时长，锌掺杂量，退火温度等工艺参数制备薄膜，并利用紫外-可见光分光光度计、X射线衍

射仪、亲水性测试仪等仪器对薄膜性能检测，找出制备锌掺杂量、不同退火温度对亲水性的最优参数。

利用好TiO2薄膜具备亲水性的特性，我们在未来可以应用到生产、生活的方方面面，所以研究其亲

水性很有必要。

关键词：磁控溅射法；TiO2薄膜；锌掺杂；退火温度；亲水性能

第1章文献综述

1.1前言

1.1.1研究背

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