深紫外光电探测器发展：单晶MgZnO到非晶Ga2O3的演变与选择.docx
深紫外光电探测器发展：单晶MgZnO到非晶Ga2O3的演变与选择
目录
深紫外光电探测器发展：单晶MgZnO到非晶Ga2O3的演变与选择（1）．3
内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1深紫外光电探测技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2深紫外光电探测器的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
单晶MgZnO深紫外光电探测器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.1MgZnO材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.2单晶MgZnO的生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.3单晶MgZnO光电探测性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.4单晶MgZnO器件的设计与制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
非晶Ga2O3深紫外光电探测器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
3.1Ga2O3材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.2非晶Ga2O3的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.3非晶Ga2O3的光电探测性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
3.4非晶Ga2O3器件的优化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
从单晶MgZnO到非晶Ga2O3的演变分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
4.1材料结构演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
4.2光电性能演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
4.3制备工艺演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
4.4应用领域演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
探测器选择与评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
5.1性能指标对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
5.2成本效益分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
5.3应用环境适应性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
5.4技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
研究展望与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
6.1材料性能提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
6.2器件结构优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
6.3制备工艺创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
6.4应用领域拓展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
深紫外光电探测器发展：单晶MgZnO到非晶Ga2O3的演变与选择（2）
一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.2研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
二、深紫外光电探测器概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.1深紫外光电探测器的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.2发展历程与现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
三、单晶MgZnO材料的研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.1单晶MgZnO的特性与优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．