等离子体设备的下电极结构和等离子体设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114792618 A
(43)申请公布日 2022.07.26
(21)申请号 202210431750.9
(22)申请日 2022.04.22
(71)申请人 合肥京东方显示技术有限公司
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