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等离子体设备的下电极结构和等离子体设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792618 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210431750.9 (22)申请日 2022.04.22 (71)申请人 合肥京东方显示技术有限公司 地址
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