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等离子体设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114830835 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080079916.4 T ·文德　 (22)申请日 2020.11.10

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