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一种等离子体放电电极结构.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410118 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202110578895.7 审查员 丁钰丰 (22)申请日 2021.05.26
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