MEMS加速度计选编.ppt

MEMS加速度计;加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。;CONTENTS;一、MEMS加速度计工作原理;二、MEMS加速度计的类型;压阻式微加速度计;;电容式微加速度计;;扭摆式微加速度计;隧道式微加速度计;;三、MEMS加速度计应用;MEMS传感器在汽车产业中的应用;MEMS传感器在汽车产业中的应用;1．7 节气门位置传感器;2．4 高温微电子在汽车中的应用;MEMS 运动传感器在移动电话中的应用;光标或游戏机控制;导航;磁盘驱动器保护 ;MEMS加速度计在鼠??的应用;四、MEMS加速度计的研究难题（国内）;五、MEMS加速度计的发展趋势;五、MEMS加速度计的发展趋势;