MEMS加速度计的原理及运用.doc
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MEM加速度计的原理及运用
高鹏 黄国胜
2006．12.19
目录
MEMS加速度计基本原理分析
MEMS简介
微加速度计的类型
差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理
MEMS微加速度计的制造工艺
MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制
MEMS加速度计的其它结构
1.7各厂商MEMS口速芯片参数对比
线性度
灵敏度与功耗
2．MEMS 加速度计国内外现状
3．微加速度计的发展趋势
MEMS口速度计应用前景分析
用MEMS口速度计测量加速度、角度
1.1MEMS简介
随着MEM技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功，应用最 广泛的微机电系统器件之一， 而微加速度计 ( mi
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MEMS器件的设计实例——加速度计 中北大学微米纳米技术研究中心 主要内容 什么是加速度计 加速度计的分类 加速度计的设计步骤 加速度计的具体设计方案 什么是加速度计 加速度计的分类 加速度计的设计步骤 加速度计的具体设计方案 加速度计是一种测量运动物体加速（或减速）的仪器。微加速度计用来探测机械系统运动中有关的动态力。 三种主要加速度计:压阻式加速度计 电容式加速度计 隧道效应加速度计 基本物理原理
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MEMS加速度计;加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。;CONTENTS;一、MEMS加速度计工作原理;二、MEMS加速度计的类型;压阻式微加速度计;;电容式微加速度计;;扭摆式微加速度计;隧道式微加速度计;
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MEMS加速度计误差补偿研究.pdf
目录
第一章绪论1
1.1课题研究的背景和意义1
1.2国内外研究现状1
1.2.1MEMS加速度计研究现状1
1.2.2MEMS惯性传感器温度补偿研究现状2
1.2.3MEMS惯性传感器随机误差研究现状4
1.3MEMS加速度计性能指标6
1.3.1量程6
1.3.2零偏6
1.3.3零偏稳定性7
1.3.4标度因数7
1.3.5标度因数温度系数8
1.3.6标度因数非线性度8
1.3.7带宽8
1.4本文主要研究内容和章节安排8
第二章MEMS加速度计阵列搭建以及嵌入式开发11
2.1引言11
2.2MEMS加速度计阵列系统方案11
2.3MEMS加速度计阵列11
2.4MEMS加速度计补
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INNALABS石英加速度计和MEMS陀螺仪.pdf
INNALABS 公司石英加速度计及格式陀螺仪资料全文
约克仪器公司
2014 年
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INN-202 石英加速度计3
INN-203 石英加速度计4
INN-204 石英加速度计5
INN-205 石英加速度计6
INL-CVG-G100 7
单轴
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MEMS加速度计的设计与性能优化.docx
MEMS加速度计的设计与性能优化
目录
内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2MEMS加速度计发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.4技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
MEMS加速度计工作原
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微加速度计的
基本工作原理及工作特点;目录;目录;微加速度计简介;微加速度计简介;目录;微加速度计分类;目录;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;基本工作原理及工作特点;目录;类型;总结-发展;谢谢！
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用 MEMS 加速度计作为拾 这些MEMS 结构的尺寸为微米量级(图2)，故需要精度极高的
半导体光刻和蚀刻工艺技术。MEMS 结构通常采用单晶硅形
音器实现乐器音效完美再现 成，或者采用以极高的温度沉积到单晶硅晶圆表面上的多晶
硅。采用这一灵活的技术可以形成机械特性差异很大的结构。
其中一个可以控制和可改变的机械
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《微加速度计》课件.ppt
*******************微加速度计微加速度计是一种小型传感器，用于测量加速度。它们广泛应用于智能手机、游戏手柄和汽车等设备中，以提供更准确的运动和方向数据。1.概念简介基本定义微加速度计是一种能够测量加速度的微型传感器，它能够感应到微小的加速度变化，并将其转换为电信号。核心原理其工作原理基于惯性质量的运动，当加速度发生变化时，惯性质量会产生相应的位移，通过测量位移变化来测量加速度。应用范围微加速度计广泛应用于各种领域，例如智能手机、游戏设备、汽车、航空航天、工业自动化等。什么是微加速度计测量加速度微加速度计是一种微型传感器，用来测量物体在三个方向上的加速度。广泛应用于智能手机微加
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微加速度计设计 一、压阻式微加速度计的工作原理 二、硅材料的选择 (a)和(b)为悬臂梁式结构，优点是灵敏度高，但其一阶固有频率低，频率响应范围窄，且横向灵敏度较大。 (c)～(g)为固支梁结构 ，其一阶固有频率比悬臂梁式结构高得多，有利于扩大传感器的频率响应范围。但在电桥中压敏电阻数量相同的情况下，其灵敏度低于悬臂梁式结构。 (g)图所示的四边八梁结构横向灵敏度最低，但其输出灵敏度也最低。 综合考虑，所要设计的传感器采用 双端四梁结构(e)，该结构在保证一定的输出灵敏度的基础上能够较好地解决横向灵敏度的问题。 边界约束主要考虑加工工艺的影响，根据某加工单位的实际加工水平提出的约
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3D三轴加速度计.doc
三维加速计
(型号：3D-BTA 如果你订的是
如果你订的是 3D-DIN，你收到的是 3D-BTA 加三个BTA-DIN 适配器。
三维加速计在一个小盒内包含三个 –5 到 +5 g 的加速计。使用适当的数据采集硬件和软件，你可以对这些成分的任何一个绘制图表、或计算净加速度的大小。三维加速计可以用在多个实验和示范，在实验室或室外也适用。
在蹦极跳的过程中，我们可以使用一个三维加速计来采集数据。以下的三个图表显示的是三个成分加速度。接下来的图表显示了由各成分加速度的平方总和的平方根计算出来的净加速度。
蹦极跳的加速度
净加速度
在钟摆上安装一个三维加速计，所得到的一个图表例子。钟摆通过一
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colibrys加速度计选型.doc
colibrys加速度传感器选型表
加速度测量
型号 量程 抗冲击性能 灵敏度 温漂 输出方式 备注 MS9001.D 单轴±1g 6000g 2000±16mv/g ＜0.05mg/℃ 0.5~4.5v模拟输出 尺寸：8.9×8.9×3.23毫米，精度高、稳定性好,可用于倾角测量 MS9002.D 单轴±2g 6000g 1000±8mv/g ＜0.1mg/℃ 0.5~4.5v模拟输出 尺寸：8.9×8.9×3.23毫米，精度高、稳定性好,石油测斜 MS9005.D 单轴±5g 6000g 400±4mv/g ＜0. 25mg/℃ 0.5~4.5v模拟输出 尺寸：8.9×8.9×3.2
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一种小型加速度计.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114545029 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210157778.8 G01K 1/14 (2021.01)
(22)申请日 2022.02.2
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灌封胶封装对高量程MEMS加速度计动态性能的影响Journalof.PDF
第 26 卷 第 6 期 半 导 体 学 报 Vol . 26 No . 6
2005 年 6 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J une ,2005
灌封胶封装对高量程 MEMS 加速度计
动态性能的影响
蒋