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MEMS加速度计的原理及运用.docx

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MEM加速度计的原理及运用高鹏黄国胜 2006．12.19 目录 MEMS加速度计基本原理分析 MEMS简介微加速度计的类型差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理 MEMS微加速度计的制造工艺 MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制 MEMS加速度计的其它结构 1.7各厂商MEMS口速芯片参数对比线性度灵敏度与功耗 2．MEMS 加速度计国内外现状 3．微加速度计的发展趋势 MEMS口速度计应用前景分析用MEMS口速度计测量加速度、角度 1.1MEMS简介随着MEM技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功，应用最广泛的微机电系统器件之一，而微加速度计 ( mi

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