一种微加速度计设计与制造选编.ppt
文本预览下载声明
无标题;目录MEMS加速度计简介MEM;微加速度计就是使用MEMS技术;微加速度传感器的研究开始于70;微加速度计典型汽车用产品 1;国内的相关研究还存在很多问题，;(4) 除了基于半导体平面工艺;(3) 多轴加速度计的开发成为;微加速度计的特点微加速度计具有;品质因子拉氏变换得传递函数的幅;由图可见，为提高灵敏度，需要降;根据有无反馈信号：１.微型开环;压阻式微加速度计是由悬臂梁和质;电阻半导体压阻效应为电阻率取 ;对晶体材料，电阻率与应变有关，;加速度传感器结构原理图 如图;固支梁上表面的应力分布示意图加;式中 为轴向应力，这里取值为;为实现静电自检测结构，在衬底硅;该芯片采用普通四寸双抛硅片为基;(1)首先在450um的双抛硅;溅射1.2um的金属铝，刻出铝;总结与体会 本材料介绍了微机
显示全部