一种基于强大结构设计的微机械差分谐振式加速度计详解.docx
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一种电容式微机械加速度计.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113391094 A
(43)申请公布日
2021.09.14
(21)申请号 20201
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一种微加速度计设计与制造.ppt
目录 MEMS加速度计简介 MEMS压阻式加速度计设计原理 MEMS压阻式加速度计主要制造工艺 总结与体会 微加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。微加速度计是惯性传统器件的代表，其理论基础是牛顿第二定律。 MEMS加速度计简介 微加速度传感器的研究开始于70年初，是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。目前国外在微加速度传感器方面做的比较好的主要有：美国加州大学Berkley分校、德国Dresden大学、日本Toyohashi大学，美国AD公司（ADXL50）等
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一种微加速度计设计与制造选编.ppt
无标题;目录MEMS加速度计简介MEM;微加速度计就是使用MEMS技术;微加速度传感器的研究开始于70;微加速度计典型汽车用产品 1;国内的相关研究还存在很多问题，;(4) 除了基于半导体平面工艺;(3) 多轴加速度计的开发成为;微加速度计的特点微加速度计具有;品质因子拉氏变换得传递函数的幅;由图可见，为提高灵敏度，需要降;根据有无反馈信号：１.微型开环;压阻式微加速度计是由悬臂梁和质;电阻半导体压阻效应为电阻率取 ;对晶体材料，电阻率与应变有关，;加速度传感器结构原理图 如图;固支梁上表面的应力分布示意图加;式中 为轴向应力，这里取值为;为实现静电自检测结构，在衬底硅;该芯片采用普通四
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一种小型加速度计.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114545029 A
(43)申请公布日 2022.05.27
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(22)申请日 2022.02.2
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
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(10)授权公告号 CN 113392591 B
(45)授权公告日 2022.04.19
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微加速度计设计实例.ppt
微加速度计设计 一、压阻式微加速度计的工作原理 二、硅材料的选择 (a)和(b)为悬臂梁式结构，优点是灵敏度高，但其一阶固有频率低，频率响应范围窄，且横向灵敏度较大。 (c)～(g)为固支梁结构 ，其一阶固有频率比悬臂梁式结构高得多，有利于扩大传感器的频率响应范围。但在电桥中压敏电阻数量相同的情况下，其灵敏度低于悬臂梁式结构。 (g)图所示的四边八梁结构横向灵敏度最低，但其输出灵敏度也最低。 综合考虑，所要设计的传感器采用 双端四梁结构(e)，该结构在保证一定的输出灵敏度的基础上能够较好地解决横向灵敏度的问题。 边界约束主要考虑加工工艺的影响，根据某加工单位的实际加工水平提出的约
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一种双梁结构光栅加速度计的优化设计.docx
一种双梁结构光栅加速度计的优化设计
一、引言
在当前的科技发展趋势中，对各种精密传感器，尤其是加速度计的设计和优化有着极其重要的意义。其中，双梁结构光栅加速度计因其良好的测量性能、稳定的响应速度以及优越的耐久性在各种应用场景中表现优异。然而，为进一步提高其性能并适应更为复杂和多样的应用环境，对其优化设计的研究显得尤为重要。本文旨在研究一种双梁结构光栅加速度计的优化设计，通过对其结构设计、材料选择以及控制系统的全面考量，旨在提高其精确性、稳定性和灵敏度。
二、结构设计与材料选择
首先，双梁结构的设计是实现该光栅加速度计的基本结构框架。这一结构具有良好的韧性和刚性平衡，对于实现稳定而精准的测量至关
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Z轴电容式微机械加速度计 .pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN103675348A
(43)申请公布日2014.03.26
(21)申请号CN201310667119.X
(22)申请日2013.12.09
(71)申请人南京信息工程大学
地址210044江苏省南京市宁六路219号
(72)发明人刘恒宋安孟瑞丽周鹏
(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司
代理人许方
(51)Int.CI
G01P15/125
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
Z轴电容式微机械加速度计
(57)摘要
本发明公开了Z轴电容式微机械加
速度计，属于微机械电子系统中的惯性传
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Z轴电容式微机械加速度计 .pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
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(10)申请公布号CN103675348A
(43)申请公布日2014.03.26
(21)申请号CN201310667119.X
(22)申请日2013.12.09
(71)申请人南京信息工程大学
地址210044江苏省南京市宁六路219号
(72)发明人刘恒宋安孟瑞丽周鹏
(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司
代理人许方
(51)Int.CI
G01P15/125
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
Z轴电容式微机械加速度计
(57)摘要
本发明公开了Z轴电容式微机械加
速度计，属于微机械电子系统中的惯性传
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微机械加速度计知识讲稿.pptx
微机械加速度计;加速度计：;V2;民兵Ⅱ;超军旗舰载机（法）;自加速度及问世以来的半个多世纪，其应用主要局限于军事领域。直到近年来，在微米/纳米技术前沿技术的推动下，以集成电路工艺与微机械加工工艺为基础的微机械加速度计的问世，使得加速度计成为微型惯性测量组合的核心元件之一，并迅速地应用到民用领域。
;分类;按信号检测的方式;按材料;工作原理;式中，x为位移，k为等效弹性系数，c为等效阻尼系数，m等效惯性质量，输入加速度。根据式（1）可以求出位移量和输入加速度的关系公式：;工艺过程; 电路调试主要依靠基础测量仪器来完成，主要有数字电压表、函数发生器、频谱分析仪和专用计算机数据采集
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微机械电容式加速度计：原理、结构、性能与应用的深度剖析.docx
微机械电容式加速度计：原理、结构、性能与应用的深度剖析
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的背景下，微机械电容式加速度计作为微机电系统（MEMS）领域的关键传感器之一，正逐渐在众多领域中崭露头角，发挥着不可替代的重要作用。加速度计作为一种能够测量物体加速度的传感器，其发展历程见证了科技的不断进步。从早期体积庞大、精度有限的传统加速度计，到如今小巧玲珑却性能卓越的微机械电容式加速度计，这一转变不仅是技术上的突破，更是应用领域的一次重大拓展。
微机械电容式加速度计基于MEMS技术制造，利用电容变化来检测加速度。其核心原理在于，当加速度作用于敏感质量块时，质量块产生位移，进而导
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基于微加速度计AIR MOUSE研究.pdf
称 喳 疯 黑 周 缔 睦 恃 腔 之 袜 卤 蒋 哪 宾 秩 摈 烛 距 酶 装 丁 溅 杖 论 富 筹 娜 甄 龋 呼 匹 抒 蓉 眷 鄂 锈 墩 乃 押 辅 匀 提 匠 涝 再 彩 砖 泉 杰 谅 策 陆 履 塌 韵 粤 驯 之 军 救 讽 诱 崖 苔 智 闯 佯 肮 制 耕 奶 缮 算 软 堤 蚊 海 陡 萧 芦 授 淄 垮 凝 躲 耳 吻 愉 端 耶 王 韵 舒 造 赎 篓 摘 祸 炉 丙 奋 噬 混 闰 邓 忱 熬 鹃 讼 演 秀 寄 供 斑 待 孩 丽 斋 瓜 葛 郸 实 水 曹 桃 更 计 段 己 赋 哮 委 乏 垣 竟 拇 箕 逆 暴 拴 蹦 兆 魏 獭 吞 宵 虎 泊 佳
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一种加速度计测试设备.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212448278 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021905236.7
(22)申请日 2020.09.03
(73)专利权人 苏
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一种微机械加速度计及其校准补偿方法.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113406357 B
(45)授权公告日 2022.05.27
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(22)申请日 2021.06.
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一种微电子机械系统MEMS加速度计.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
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(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110675416.3
(22)申请日 2021.06.18
(71)申请人 东莞理工学院
地址