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微机械电容式加速度计：原理、结构、性能与应用的深度剖析
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的背景下，微机械电容式加速度计作为微机电系统（MEMS）领域的关键传感器之一，正逐渐在众多领域中崭露头角，发挥着不可替代的重要作用。加速度计作为一种能够测量物体加速度的传感器，其发展历程见证了科技的不断进步。从早期体积庞大、精度有限的传统加速度计，到如今小巧玲珑却性能卓越的微机械电容式加速度计，这一转变不仅是技术上的突破，更是应用领域的一次重大拓展。
微机械电容式加速度计基于MEMS技术制造，利用电容变化来检测加速度。其核心原理在于，当加速度作用于敏感质量块时，质量块产生位移，进而导
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