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一种微机械加速度计及其校准补偿方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113406357 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110690842.4 B81B 7/02 (2006.01) (22)申请日 2021.06.
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