加速度计及加速度计的温度自补偿方法.pdf

MEMS加速度计温度补偿算法研究.pdf 摘要 MEMS加速度计是利用微机电系统技术(MicroElectroMechanicalSystems, MEMS)设计和制造的微惯性器件，具有集成度高、可靠性好及与IC工艺兼容易批量制造等优势，因此被广泛应用于军事国防领域和消费电子领域。然而，加速度计输出会随着温度变化漂移，导致其输出精度降低，因此需要对其进行温度补偿。现有的MEMS加速度计温度补偿技术，包括在加速度计的设计制造阶段进行结构工艺上的优化来减小温度漂移以及在加速度计应用阶段基于温度补偿算法进行补偿。在实际应用中，基于温度补偿算法对加速度计输出进行温度补偿成本更低，测试简单，更具有实用性，因此研究高精度的MEMS加速

2025-06-05 约11.73万字 65页立即下载

高温压电加速度计的设计及温度补偿研究.pdf 摘要飞行器经常会在高温、高旋、高压等恶劣环境下进行航空作业，有时工作环境的局部温度甚至可以超过上千度，比如航空发动机和燃气轮机这样的关键部件。在恶劣条件下，实时监测温度和振动等参数对飞行器的材料选型、结构规划及防护策略等方面至关重要。考虑到航空航天器及发动机在高温和高转速的极端环境下的特殊测试需求，本文的研究主要集中于温度和振动这两个参数的实时现场监测。以下是本研究的主要内容： 1.研究了压电加速度计的工作机制，介绍了各种压电材料的性质，了解了不同结构的压电加

2024-09-28 约7.63万字 71页立即下载

静电刚度谐振式微加速度计耦合抑制和温度补偿研究.docx 静电刚度谐振式微加速度计耦合抑制和温度补偿研究一、引言随着微电子机械系统（MEMS）技术的不断发展，静电刚度谐振式微加速度计因其在测量领域的高灵敏度和高分辨率等优点而受到广泛关注。然而，在微加速度计的实际应用中，仍面临许多技术挑战，如耦合效应和温度漂移对测量准确性的影响。因此，针对静电刚度谐振式微加速度计的耦合抑制和温度补偿研究具有重要意义。本文旨在研究这两方面的关键问题，以期提升微加速度计的测量性能。二、静电刚度谐振式微加速度计的基本原理与特点静电刚度谐振式微加速度计基于谐振子的工作原理，利用外部电场对微小物体的作用力来实现对加速度的测量。其基本特点包括高灵敏度、高分辨率以及小型化等

2025-03-09 约3.6千字 7页立即下载

高温压电加速度计的设计及温度补偿研究.docx 高温压电加速度计的设计及温度补偿研究一、引言随着现代科技的发展，对高精度、高稳定性的传感器需求日益增长。其中，压电加速度计以其高灵敏度、快速响应等特性在众多领域中得到了广泛应用。然而，在高温环境下，压电加速度计的性能会受到一定影响，因此，设计一款能在高温环境下稳定工作的压电加速度计显得尤为重要。本文将详细介绍高温压电加速度计的设计及其温度补偿研究。二、高温压电加速度计的设计 1.选材设计设计高温压电加速度计首先需要考虑选材问题。为保证在高温环境下性能稳定，我们选择了具有较高居里温度的压电材料，如PZT（铅锆钛酸盐）等。此外，我们还需考虑结构材料的选择，如金属和陶瓷等，以确保传感器结构的

2025-02-20 约4.45千字 9页立即下载

MEMS加速度计误差补偿研究.pdf 目录第一章绪论1 1.1课题研究的背景和意义1 1.2国内外研究现状1 1.2.1MEMS加速度计研究现状1 1.2.2MEMS惯性传感器温度补偿研究现状2 1.2.3MEMS惯性传感器随机误差研究现状4 1.3MEMS加速度计性能指标6 1.3.1量程6 1.3.2零偏6 1.3.3零偏稳定性7 1.3.4标度因数7 1.3.5标度因数温度系数8 1.3.6标度因数非线性度8 1.3.7带宽8 1.4本文主要研究内容和章节安排8 第二章MEMS加速度计阵列搭建以及嵌入式开发11 2.1引言11 2.2MEMS加速度计阵列系统方案11 2.3MEMS加速度计阵列11 2.4MEMS加速度计补

2025-03-02 约9.27万字 82页立即下载

温度干扰对声表面波加速度计的影响及解决方法的简要介绍.doc 温度干扰对声表面波加速度计的影响及解决方法的简要介绍摘要对于悬臂梁式声表面波加速度计，其上下表面的压电效应材料容易受到温度变化的影响，而且，在制作工艺上，也很难做到使其上下表面的感应元件的物理性质完全相同，由此，将会在温度变化的环境中，对我们的声表面波检测产生干扰，从而影响精度。本文中提出了一种抑制共模干扰的方法，经过改进后，加速度计的灵敏度将变为传统设计方案的一半。虽牺牲了一定的灵敏度，但本方案在最大程度上抑制了温度漂移共模因素对悬臂梁式加速度传感器测量准确度的影响。声表面波加速度计的发展状况国外是上世纪70年代末开始研究声表面波加速度计的。 1981年，法国研制出了第一台延迟线

2016-11-28 约2.01千字 5页立即下载

基于加速度计测量永磁材料温度系数的装置及测量方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112798993 B (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202110375105.5 CN 104237565 A,2014.12.24 (22)

2023-06-05 约1.7万字 12页立即下载

基于微尺度分析方法的MEMS加速度计温漂补偿技术研究.docx 基于微尺度分析方法的MEMS加速度计温漂补偿技术研究 1.引言 1.1MEMS加速度计概述 MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）加速度计是一种利用微电子机械技术制造的传感器，它能够检测物体在加速度作用下的微小位移，并将这些位移转化为电信号输出。由于其体积小、重量轻、成本低、响应快等优点，MEMS加速度计在航空航天、汽车工业、消费电子等领域得到了广泛应用。 1.2微尺度分析方法简介微尺度分析方法是一种研究微观尺度物理现象和过程的科学方法，主要包括分子动力学模拟、有限元分析、多尺度建模等方法。这些方法在MEMS加速度计的设计与性能优化中起着重要作用，有助于深

2024-05-27 约4.87千字 8页立即下载

一种微机械加速度计及其校准补偿方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113406357 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110690842.4 B81B 7/02 (2006.01) (22)申请日 2021.06.

2023-06-18 约1.29万字 10页立即下载

一种加速度计及其测量俯仰角误差补偿方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114460329 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202110231899.8 (22)申请日 2021.03.02 (71)申请人北京天兵科技有限公司地址 100

2023-05-05 约1.08万字 11页立即下载

加速度计作为拾.pdf 用 MEMS 加速度计作为拾这些MEMS 结构的尺寸为微米量级(图2)，故需要精度极高的半导体光刻和蚀刻工艺技术。MEMS 结构通常采用单晶硅形音器实现乐器音效完美再现成，或者采用以极高的温度沉积到单晶硅晶圆表面上的多晶硅。采用这一灵活的技术可以形成机械特性差异很大的结构。其中一个可以控制和可改变的机械

2017-05-12 约2.12万字 4页立即下载

《微加速度计》课件.ppt *******************微加速度计微加速度计是一种小型传感器，用于测量加速度。它们广泛应用于智能手机、游戏手柄和汽车等设备中，以提供更准确的运动和方向数据。1.概念简介基本定义微加速度计是一种能够测量加速度的微型传感器，它能够感应到微小的加速度变化，并将其转换为电信号。核心原理其工作原理基于惯性质量的运动，当加速度发生变化时，惯性质量会产生相应的位移，通过测量位移变化来测量加速度。应用范围微加速度计广泛应用于各种领域，例如智能手机、游戏设备、汽车、航空航天、工业自动化等。什么是微加速度计测量加速度微加速度计是一种微型传感器，用来测量物体在三个方向上的加速度。广泛应用于智能手机微加

2025-01-21 约4.13千字 30页立即下载

微加速度计设计实例.ppt 微加速度计设计一、压阻式微加速度计的工作原理二、硅材料的选择 (a)和(b)为悬臂梁式结构，优点是灵敏度高，但其一阶固有频率低，频率响应范围窄，且横向灵敏度较大。 (c)～(g)为固支梁结构，其一阶固有频率比悬臂梁式结构高得多，有利于扩大传感器的频率响应范围。但在电桥中压敏电阻数量相同的情况下，其灵敏度低于悬臂梁式结构。 (g)图所示的四边八梁结构横向灵敏度最低，但其输出灵敏度也最低。综合考虑，所要设计的传感器采用双端四梁结构(e)，该结构在保证一定的输出灵敏度的基础上能够较好地解决横向灵敏度的问题。边界约束主要考虑加工工艺的影响，根据某加工单位的实际加工水平提出的约

2017-12-08 约6.4千字 57页立即下载

MEMS课件 加速度计.ppt MEMS器件的设计实例——加速度计 中北大学微米纳米技术研究中心主要内容什么是加速度计加速度计的分类加速度计的设计步骤加速度计的具体设计方案什么是加速度计加速度计的分类加速度计的设计步骤加速度计的具体设计方案 加速度计是一种测量运动物体加速（或减速）的仪器。微加速度计用来探测机械系统运动中有关的动态力。三种主要加速度计:压阻式加速度计 电容式加速度计 隧道效应加速度计 基本物理原理

2017-12-10 约6.69千字 80页立即下载

3D三轴加速度计.doc 三维加速计 (型号：3D-BTA 如果你订的是如果你订的是 3D-DIN，你收到的是 3D-BTA 加三个BTA-DIN 适配器。三维加速计在一个小盒内包含三个 –5 到 +5 g 的加速计。使用适当的数据采集硬件和软件，你可以对这些成分的任何一个绘制图表、或计算净加速度的大小。三维加速计可以用在多个实验和示范，在实验室或室外也适用。在蹦极跳的过程中，我们可以使用一个三维加速计来采集数据。以下的三个图表显示的是三个成分加速度。接下来的图表显示了由各成分加速度的平方总和的平方根计算出来的净加速度。蹦极跳的加速度净加速度在钟摆上安装一个三维加速计，所得到的一个图表例子。钟摆通过一

2017-07-26 约2.45万字 8页立即下载