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碳化硅外延材料:生长机理、技术突破与表征方法的深度剖析
一、引言
1.1研究背景与意义
随着现代科技的飞速发展,半导体材料作为信息技术产业的基石,其性能的提升对于推动电子设备的小型化、高效化以及能源的可持续利用至关重要。碳化硅(SiC)外延材料作为第三代半导体材料的杰出代表,凭借其独特的物理性质,在半导体领域占据着日益重要的地位,成为学术界和产业界共同关注的焦点。
碳化硅具有宽禁带宽度,约为硅的3倍,这使得碳化硅器件能够在更高的温度和电压下稳定运行,有效降低了能量损耗。同时,碳化硅的高击穿电场强度是硅的10倍以上,能够承受更高的电压,为制造高压、大功率器件提供了可能。此外,碳化硅还
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