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GaN太赫兹二极管、倍频单片、倍频器及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112993054 B (45)授权公告日 2022.09.20 (21)申请号 202110161027.9 H01L 29/207 (2006.01)
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