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倍频单片、GaN太赫兹二极管及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993042 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110160011.6 H01L 21/329 (2006.01) (22)申请日

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