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一种声表面波器件电极结构及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114553171 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210088875.6 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人北京中科飞鸿科技股份有限公司地址

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