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声表面波装置的制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113346857 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110587491.4 (22)申请日 2021.05.27 (71)申请人 北京超材信息科技有限公司
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