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半导体器件、制作方法、三维存储器及存储系统.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551571 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210154599.9 (22)申请日 2022.02.21 (71)申请人长江存储科技有限责

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