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半导体器件的制作方法、半导体器件以及三维存储器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551466 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210163882.8 (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司 地址 4
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