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半导体结构及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551450 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210174057.8 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230
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