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真空镀膜设备自动换件机构.pdf

发布:2023-03-07约7.7千字共7页下载文档
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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388880 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022494930.0 (22)申请日 2020.11.02 (73)专利权人 北京玉研精密仪器有限公司
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