真空镀膜设备自动换件机构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388880 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022494930.0
(22)申请日 2020.11.02
(73)专利权人 北京玉研精密仪器有限公司
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