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真空镀膜设备检漏知识培训 检漏概念及目的 1 镀膜线检漏区域 2 漏点分析及处理方式 3 一、检漏概念及目的 检漏概念 漏率 真空检漏 最大容许漏率 最小可检漏率 实漏 虚漏 ?真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。 最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。 检漏目的：检出漏点进行维修，以提升本底真空，保证膜层性能。 一、检漏概念及目的 二、镀膜线检漏区域 门阀轴座 管道接口 泵组接口 真空规管接口 光眼接口 加热器密封面 箱体接缝 箱体门缝 阴极及布气管 镀 膜 线 二、镀膜线检漏区域 检漏顺序：由上到下！ 三、漏点分析及处理方式 检漏仪显示真空度如上升，证明检漏区域有漏点 三、漏点分析及处理方式 读取真空计数值，确认大漏或抽速故障 三、漏点分析及处理方式 1、门缝漏气紧固螺丝 2、开门检查密封圈或清洁 1、步气管漏气紧固螺丝 2、真空泥堵漏或更换接头 1、真空泥堵漏 2、焊接 Thank You 报 告 完 毕