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真空镀膜腔和真空镀膜设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114875381 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202210532592.6 C23C 16/46 (2006.01) (22)申请日 2022.05
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