真空镀膜腔和真空镀膜设备.pdf
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114875381 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202210532592.6 C23C 16/46 (2006.01)
(22)申请日 2022.05
显示全部