《真空镀膜实验》.pdf

真空镀膜

真空镀膜

整理课件

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•一、引言

•一、引言

•二、真空技术入门

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•三、薄膜材料的制备

•三、薄膜材料的制备

•四、真空蒸发镀膜实验

•四、真空蒸发镀膜实验

•五、薄膜厚度的计算

•五、薄膜厚度的计算

•六、薄膜厚度的测量

•六、薄膜厚度的测量

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一、引言

一、引言

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成

与加工的新技术，是外表工程技术领域的

与加工的新技术，是外表工程技术领域的

重要组成局部。真空镀膜技术是利用物理、

重要组成局部。真空镀膜技术是利用物理、

化学手段将固体外表涂覆一层特殊性能的

化学手段将固体外表涂覆一层特殊性能的

薄膜，从而使固体外表具有耐磨损、耐高

薄膜，从而使固体外表具有耐磨损、耐高

温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导

温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导

磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身

磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身

的优越性能，到达提高产品质量、延长产

的优越性能，到达提高产品质量、延长产

品寿命、节约能源和获得显著技术经济效

品寿命、节约能源和获得显著技术经济效

益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具

益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具

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二、真空技术入门

二、真空技术入门

真空：低于一个大气压的气体状态。

真空：低于一个大气压的气体状态。

1643年，意大利物理学家托里拆利

1643年，意大利物理学家托里拆利

(E.Torricelli)

(E.Torricelli)

首创著名的大气压实验，获得真空。

首创著名的大气压实验，获得真空。

自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇

自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇

宙空间。

宙空间。

人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。

人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。

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真空度的单位

真空度的单位

1标准大气压=760mmHg=760(Torr)

1标准大气压=760mmHg=760(Torr)

5

5

1标准大气压=1.013x10Pa

1标准大气压=1.013x10Pa

1Torr=133.3Pa

1Torr=133.3Pa

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真空区域的划分

真空区域的划分

目前尚无统一规定，一般最常见的划分为：

目前尚无统一规定，一般最常见的划分为：

粗真空

粗真空

低真空

低真空

高真空

高真空

超高真空

超高真空

极高真空

极高真空