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一种连续真空镀膜设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337804 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110566254.X (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人嘉兴浩宇等离子体科技有限公司

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