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一种沉积装置和沉积方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388826 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110608312.0 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人长江存储科技有限责任公司

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