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一种沉积装置及系统.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813417 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011584038.X (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人厦门理工学院地址

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