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一种改善POLY-SI化学气象沉积的装置及其使用方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113373422 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110482685.8 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人麦斯克电子材料股份有限公司

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