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一种优化原子层沉积的方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113005424 B (45)授权公告日 2022.05.06 (21)申请号 201911321990.8 C23C 16/40 (2006.01)
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