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一种基于腔体互联的沉积方法和沉积设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112813422 B (45)授权公告日 2022.02.15 (21)申请号 202011629421.2 C23C 16/455 (2006.01)

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