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一种多腔体CVD设备分布式控制系统及其方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113359409 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110795610.5 (22)申请日 2021.07.14 (71)申请人 江苏天芯微半导体设备有限公司
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