一种多腔体CVD设备分布式控制系统及其方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113359409 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110795610.5
(22)申请日 2021.07.14
(71)申请人 江苏天芯微半导体设备有限公司
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