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一种新型双层腔室的原子层沉积反应装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875385 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210548654.2 (22)申请日 2022.05.20 (71)申请人 江苏迈纳德微纳技术有限公司 地址
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