一种新型双层腔室的原子层沉积反应装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114875385 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210548654.2
(22)申请日 2022.05.20
(71)申请人 江苏迈纳德微纳技术有限公司
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