目标版图和掩膜版版图的修正方法、掩膜版及半导体结构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112824972 A
(43)申请公布日
2021.05.21
(21)申请号 20191
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