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一种可切换正负离子注入的三栅网离子门及应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112837988 B (45)授权公告日 2021.12.07 (21)申请号 201911157574.9 (56)对比文件

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