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离子注入方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394085 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110654050.1 (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人武汉新芯集成电路制造有限公司

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