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一种高效离化的离子注入方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114540783 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210033045.3 H01J 37/08 (2006.01) (22)申请日 2022.01.

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