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一种基于固态电解质的氧离子源、离子注入机及其在制备SOI晶片中的应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802728 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110059971.3 (22)申请日 2021.01.18 (71)申请人 万华化学集团电子材料有限公司
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