等离子体约束装置及等离子体处理装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212461598 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021680952.X
(22)申请日 2020.08.13
(73)专利权人 中微半导体设备(上海)股份有限
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