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盖体装置、工艺腔室及半导体工艺设备.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117727660A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311737419.0

(22)申请日2023.12.15

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地

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