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倒片装置、半导体工艺设备及开关门体的控制方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551313 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210181637.X (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址

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