文档详情

腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备.pdf

发布:2023-03-20约1.12万字共9页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213840496 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022305349.X (22)申请日 2020.10.15 (73)专利权人 泉
显示全部
相似文档