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半导体装置和设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112928152 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202011400660.0 (22)申请日 2020.12.04 (30)优先权数据 2019-2214

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