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用于半导体腔室的支撑装置及半导体设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820688 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011545747.7 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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