文档详情

一种用于晶圆的清洗装置.pdf

发布：2023-06-05约1.24万字共14页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112838030 B (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202011613524.X B08B 1/02 (2006.01)

显示全部

相似文档

一种用于液体防护的晶圆清洗装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114871182 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210592335.1 (22)申请日 2022.05.27 (71)申请人宁波润华全芯微电子设备有限公司地址
2023-05-15 约1.24万字 13页立即下载
一种用于晶圆清洗后烘干处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114562874 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210200176.6 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人浙江光特科技有限公司地址 312
2023-05-10 约1.01万字 14页立即下载
一种晶圆清洗装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112974362 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 20191
2023-06-07 约8.5千字 10页立即下载
一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112974083 B (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202110173405.5 B05B 13/02 (2006.01) (22)申请日
2023-06-06 约1.19万字 13页立即下载
一种晶圆清洗的进出料装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992747 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202110187018.7 H01L 21/687 (2006.01) (22)申请日
2023-06-06 约1.13万字 12页立即下载
一种晶圆清洗装置、晶圆清洗方法及太鼓环切设备.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551303 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210173184.6 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人江苏京创先进电子科
2023-05-09 约1.74万字 17页立即下载
一种用于晶圆清洗机构的进水阀.pdf (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号CN220523369U (45)授权公告日2024.02.23 (21)申请号202322156989.2 (22)申请日2023.08.11 (73)专利权人苏州盈泷泽半导体设备有限公司地
2024-02-22 约4.23千字 5页立即下载
一种晶圆清洗用自动回收装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013066 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110224910.8 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人昆山基侑电子科技有限公司
2023-06-06 约4.4千字 5页立即下载
一种可调节喷头位置晶圆清洗装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401116 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022803169.4 (22)申请日 2020.11.28 (73)专利权人扬
2023-03-09 约6.59千字 8页立即下载
一种晶圆清洗固定装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967996 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110224341.7 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人昆山基侑电子科技有限公司
2023-06-10 约8.84千字 7页立即下载
一种用于晶圆加工的轴心定位装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213424962 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021938108.2 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人南京禅生半导体科技有限公司
2023-03-06 约9.05千字 12页立即下载
一种用于TAIKO晶圆加工的去环装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114559568 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210235791.0 (22)申请日 2022.03.11 (71)申请人江苏京创先进电子科
2023-05-06 约7.75千字 11页立即下载
一种用于晶圆翻转的后置偏心装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113352336 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110623107.1 (22)申请日 2021.06.04 (71)申请人上海广川科技有限公司
2023-06-18 约8.05千字 9页立即下载
一种用于晶圆加工的刷洗装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992733 B (45)授权公告日 2022.03.11 (21)申请号 202110171730.8 审查员张卉 (22)申请日 2021.02.08
2023-06-09 约1.01万字 13页立即下载
一种用于晶圆生产的切割装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213005967 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021147211.5 (22)申请日 2020.06.19 (73)专利权人广东唯是晶圆科技有限公司
2023-02-27 约8.94千字 10页立即下载