一种晶圆清洗固定装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112967996 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110224341.7
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 昆山基侑电子科技有限公司
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