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一种晶圆清洗固定装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967996 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110224341.7 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人 昆山基侑电子科技有限公司
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